Topografie & Rauheit

Konfokal­mikroskopie / Inter­ferometrie

Unser Optisches 3D-Profilometer erlaubt die berührungslose Bestimmung der Oberflächenstruktur und Rauheit von Produkten aller Art. Das vielseitige Kombi­gerät ermög­licht Inter­fero­metrie (sowohl Phasen­verschie­bungs- als auch Weiss­licht­inter­fero­metrie), Kon­fo­kal­mikro­skopie und Fokus­variation. Mit der Inter­fero­metrie können in Kom­bina­tion mit dem Piezo­antrieb für die Höhen­verstellung und einem aktiven Schwingungs­dämpfungs­tisch höchste z‑Auf­lösungen im Sub­nano­meter­bereich erzielt werden. Mit der Konfo­kal­mikro­skopie können selbst sehr raue Proben analy­siert werden, und mittels Fokus­variation kann schnell und ein­fach die Form einer rauen Probe analy­siert werden, so z. B. die Gewinde­form eines Dental­implantats. Dank der 1 m langen Säule für den Mess­kopf können auch sehr grosse Proben unter­sucht werden.

Raster­elektronen­mikroskopie (REM)

Sollte die laterale Auflösung, die mit optischen Systemen erzielt werden kann, nicht genügen, so kann die Topo­gra­fie mit dem Raster­elek­tronen­mikro­skop (REM) bestimmt werden. Dabei werden Bilder mit zwei verschie­denen Auf­sichts­winkeln auf­genommen und daraus die Topo­grafie semi­quanti­tativ bestimmt. Dadurch können laterale Auf­lö­sungen bis in den tiefen Nano­meter-Bereich erreicht werden.