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METHODEN

Rasterelektronen­mikroskopie
mit Energie­dispersiver Röntgen­spektroskopie (REM / EDX)

Rasterelektronenmikroskopie (REM) und Energie­disper­sive Rönt­gen­spektros­kopie (EDX) bieten in Kombination viel­fältige Möglich­keiten zur Analyse und Charakte­risie­rung von Materialien. Sie eignen sich hervor­ragend zur Bestimmung der Topo­grafie und Struktur von Ober­flächen und Bruch­flächen, dies mit einer Vergrösse­rung bis zu 300'000×. Ausser­dem haben wir die Möglich­keit, Proben bei höheren Drücken zu analy­sieren, was uns erlaubt, heikle, nicht­leit­fähige Proben ohne vorherige Beschich­tung zu analysieren.

Die EDX-Spektroskopie bietet die Möglich­keit, die REM-Bilder mit einer Bestim­mung der elmentaren Zusam­men­set­zung zu kombi­nieren und somit die chemische Zusam­men­setzung bild­gebend dar­zu­stellen. Ein anderes Bei­spiel ist die Parti­kel­analytik, in der die Form und die Zusam­men­setzung jedes einzelnen Partikels bestimmt werden können.

Nach welchen Normen testen wir?

Wenn immer möglich, führen wir unsere Prüfleistungen nach oder in Anlehnung an internationalen Normen durch, z. B.:

  • ISO 17853
  • ASTM F1877

Gerne finden wir aber auch eine Lösung für Ihre spezifische Fragestellung.

Welche Geräte verwenden wir?

  • Zeiss Sigma 300 VP
  • UltimMax 40 EDX Detektor

Was Sie über diese Methode wissen sollten?

Für welche Proben eignet sich die Methode?

Wir können alle vakuumbeständigen, metallischen und nicht-metallischen Festkörper (z. B. Polymere, Keramiken) und Pulver analysieren. 

Die VP-Mode (reduziertes Vakuum) erlaubt die  Untersuchung nichtleitender Proben ohne Sputterung resp. Bedampfen.

Was muss man bei den Proben beachten?
  • Die maximale Probengrösse (B × T × H): beträgt 100 × 100 × 50 mm, in speziellen Fällen sind auch grössere Proben möglich.
  • Bei Pulverproben werden nur wenige Partikel gebraucht.
  • Proben sind am besten verpackt in z. B. sauberer Aluminiumfolie oder einem sauberen Gefäss.
Was ist der Messbereich?

Vergrösserungen von 5× bis zu 300’000× sind möglich.

EDX erlaubt die Quantifizierung der meisten Elemente mit einer Nachweisgrenze von ca. 0.4 ‑ 0.5 % für Elemente leichter als Al und 0.2 ‑ 0.3 % für solche, die schwerer sind als Al. Die laterale Auflösung und die Informationstiefe betragen jeweils ca. 1 μm.

Ich möchte gerne dabei sein, wenn Sie meien Proben im REM anschauen. Geht das?

Ja, Sie können gerne während der REM-Unter­suchungen anwesend zu sein. Dies erleichtert die Kommu­ni­kation und erlaubt ein situatives Reagieren auf die Unter­suchungs­ergeb­nisse, was die Qualität der Ergeb­nisse sehr oft positiv beeinflusst.

Ist die Methode akkreditiert?

Ja, REM / EDX-Analysen sind  nach ISO/IEC 17025 akkreditiert.

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Wer ist Ihr Ansprechpartner?

Roman Heuberger
Dr. sc. ETH Zürich, Dipl. Werkstoffingenieur ETH
Leiter Materialprüfung und Beratung
+41 32 644 2022